1.双嵌入式铜互连工艺
　　随着芯片集成度的不断提高，铜已经取代铝成为超大规模集成电路制造中的主流互连技术。作为铝的替代物，铜导线可以降低互连阻抗，降低功耗和成本，提高芯片的集成度、器件密度和时钟频率。

　　由于对铜的刻蚀非常困难，因此铜互连采用双嵌入式工艺，又称双大马士革工艺（Dual Damascene），1）首先沉积一层薄的氮化硅（Si3N4）作为扩散阻挡层和刻蚀终止层，2）接着在上面沉积一定厚度的氧化硅（SiO2），3）然后光刻出微通孔（Via），4）对通孔进行部分刻蚀，5）之后再光刻出沟槽（Trench），6）继续刻蚀出完整的通孔和沟槽，7）接着是溅射（PVD）扩散阻挡层（TaN/Ta）和铜种籽层（Seed Layer）。Ta的作用是增强与Cu的黏附性，种籽层是作为电镀时的导电层，8）之后就是铜互连线的电镀工艺，9）最后是退火和化学机械抛光（CMP），对铜镀层进行平坦化处理和清洗。

　　电镀是完成铜互连线的主要工艺。集成电路铜电镀工艺通常采用硫酸盐体系的电镀液，镀液由硫酸铜、硫酸和水组成，呈淡蓝色。当电源加在铜（阳极）和硅片（阴极）之间时，溶液中产生电流并形成电场。阳极的铜发生反应转化成铜离子和电子，同时阴极也发生反应，阴极附近的铜离子与电子结合形成镀在硅片表面的铜，铜离子在外加电场的作用下，由阳极向阴极定向移动并补充阴极附近的浓度损耗。电镀的主要目的是在硅片上沉积一层致密、无孔洞、无缝隙和其它缺陷、分布均匀的铜。

　　2.电镀铜工艺中有机添加剂的作用

　　由于铜电镀要求在厚度均匀的整个硅片镀层以及电流密度不均匀的微小局部区域（超填充区）能够同时传输差异很大的电流密度，再加上集成电路特征尺寸不断缩小，和沟槽深宽比增大，沟槽的填充效果和镀层质量很大程度上取决于电镀液的化学性能，有机添加剂是改善电镀液性能非常关键的因素，填充性能与添加剂的成份和浓度密切相关，关于添加剂的研究一直是电镀铜工艺的重点之一[1，2].目前集成电路铜电镀的添加剂供应商有Enthone、Rohm&Haas等公司，其中Enthone公司的ViaForm系列添加剂目前应用较广泛。ViaForm系列包括三种有机添加剂：加速剂（Accelerator）、抑制剂（Suppressor）和平坦剂（Leverler）。当晶片被浸入电镀槽中时，添加剂立刻吸附在铜种籽层表面，如图3所示。沟槽内首先进行的是均匀性填充，填充反应动力学受抑制剂控制。接着，当加速剂达到临界浓度时，电镀开始从均匀性填充转变成由底部向上的填充。加速剂吸附在铜表面，降低电镀反应的电化学反应势，促进快速沉积反应。当沟槽填充过程完成后，表面吸附的平坦剂开始发挥作用，抑制铜的继续沉积，以减小表面的粗糙度。

　　加速剂通常是含有硫或及其官能团的有机物，例如聚二硫二丙烷磺酸钠（SPS），或3-巯基丙烷磺酸（MPSA）。加速剂分子量较小，一般吸附在铜表面和沟槽底部，降低电镀反应的电化学电位和阴极极化，从而使该部位沉积速率加快，实现沟槽的超填充。

　　抑制剂包括聚乙二醇（PEG）、聚丙烯二醇和聚乙二醇的共聚物，一般是长链聚合物。抑制剂的平均相对分子质量一般大于1000，有效性与相对分子质量有关，扩散系数低，溶解度较小，抑制剂的含量通常远大于加速剂和平坦剂。抑制剂一般大量吸附在沟槽的开口处，抑制这部分的铜沉积，防止出现空洞。在和氯离子的共同作用下，抑制剂通过扩散-淀积在阴极表面上形成一层连续抑制电流的单层膜，通过阻碍铜离子扩散来抑制铜的继续沉积。氯离子的存在，可以增强铜表面抑制剂的吸附作用，这样抑制剂在界面处的浓度就不依赖于它们的质量传输速率和向表面扩散的速率。氯离子在电镀液中的含量虽然只有几十ppm，但对铜的超填充过程非常重要。如果氯浓度过低，会使抑制剂的作用减弱；若氯浓度过高，则会与加速剂在吸附上过度竞争。

[1] [2] [3]

　　考试交流区成绩查询交流群（点击加入QQ群可快速加群交流成绩查询相关信息我们会及时在群里通知）：

　　（群：129722917）　

　　温馨提示：有任何报考及考试相关疑问，可添加网校专业老师个人微信号“edu24olxu”咨询。！考生可下载手机APP，随时掌握考试资讯！

扫一扫上面的二维码，添加老师个人微信号，所有课程七折开通

　　1·2023年一级建造师报名时间

　　2·一级建造师报考条件

　　3·一级建造师考试真题

　　4·2022年一级建造师成绩查询时间

　　5·2023年一级建造师考试时间9月9、10日

　　6·一级建造师考试科目

闁绘粠鍨抽幃鍡欑磾閹寸偟澧� 濞戞挴鍋撶紒鐙欏啰绱﹂梺顐ゅТ缁椻偓	濞戞挻妲掗澶愭嚀娴ｅ摜鐟�	闁糕晞娅ｉ、鍛存⒓閼告鍞�			鐎殿喖鎼€垫煡姊奸懜娈垮斀			婵☆嚪銈傚亾閸愵厾妲稿Λ甯嫹		閹煎瓨妫侀惁顖炲箮閳ь剙顔忚瑜帮拷 VIP闁绘瑯鍏涢棅锟�
		闁轰焦鐟﹀ḿ妤冨垝閹规劦鍞� 闁挎冻鎷�40閻犱浇顕滅槐锟�	缂備礁绻愰崥鈧☉鏃傚█椤ｏ拷 (12閻犱緤鎷�)		闂佹彃绉堕崑锝夊礃閹绘帒鐓� (16閻犱緤鎷�)	闁兼澘鍟伴崑锝囨喆閿濆棛鈧拷 (10閻犱緤鎷�)
鐎点倝缂氶鏇烆啅閵壯€鏌ょ紓浣哥箲缁侊拷	鐎殿喚濮甸幁锟�	闁稿繐绉烽崹鍌滄嫚閺囩偞鍎�			闁稿繐绉烽崹鍌滄嫚閺囩偞鍎�			濞戞挸顦〃婊兾熼埄鍐ㄧ彲濡府鎷�
鐎点倝缂氶鏇烆啅閵壯€鏌ゅ銈呮贡濞叉壆绮婚敍鍕€�	鐎殿喚濮撮幃锟�	闁稿繐绉烽崹鍌滄嫚閺囩偞鍎�			闁稿繐绉烽崹鍌滄嫚閺囩偞鍎�			濞戞挸顦〃婊兾熼埄鍐ㄧ彲濡府鎷�
鐎规悶鍎抽埢鐓庘枖閺団槅娼愰柛娆忥功濞村宕楀畷鍥╁弨閻犲浄鎷�	闁绘粌顑勯梽鍕⒖閿燂拷	闁稿繐绉烽崹鍌滄嫚閺囩偞鍎�			闁稿繐绉烽崹鍌滄嫚閺囩偞鍎�			濞戞挸顦〃婊兾熼埄鍐ㄧ彲濡府鎷�
鐎点倛娅ｉ悺姘啅閵壯€鏌ょ紒鐙呯磿閹﹥绋夋惔锛勬澖闁告棑鎷�	闁绘粌顑嗛悥鍙夌閿燂拷	闁稿繐绉烽崹鍌滄嫚閺囩偞鍎�			闁稿繐绉烽崹鍌滄嫚閺囩偞鍎�			濞戞挸顦〃婊兾熼埄鍐ㄧ彲濡府鎷�
闁哄牐娅ｉ弫绋款啅閵壯€鏌ょ紒鐙呯磿閹﹥绋夋惔锛勬澖闁告棑鎷�	闁艰绻愰埞锟�	闁稿繐绉烽崹鍌滄嫚閺囩偞鍎�			闁稿繐绉烽崹鍌滄嫚閺囩偞鍎�			濞戞挸顦〃婊兾熼埄鍐ㄧ彲濡府鎷�
闁稿浚鍓濋惌鎯ь啅閵壯€鏌ょ紒鐙呯磿閹﹥绋夋惔锛勬澖闁告棑鎷�	濡ゅ倹岣块獮澶愭偝閿燂拷	闁稿繐绉烽崹鍌滄嫚閺囩偞鍎�			闁稿繐绉烽崹鍌滄嫚閺囩偞鍎�			濞戞挸顦〃婊兾熼埄鍐ㄧ彲濡府鎷�
閻㈩垰鍊归弬鍌炲礂椤掑倹鏆忕€规悶鍎抽埢鑲╃不閿涘嫭鍊�	闁哄姘﹂獮锟�	闁稿繐绉烽崹鍌滄嫚閺囩偞鍎�			闁稿繐绉烽崹鍌滄嫚閺囩偞鍎�			濞戞挸顦〃婊兾熼埄鍐ㄧ彲濡府鎷�
闂佸彞娴囬惌鎯ь啅閵壯€鏌ょ紒鐙呯磿閹﹥绋夋惔锛勬澖闁告棑鎷�	閻庢稒鐟﹂弸鍐ㄢ枖閿燂拷	闁稿繐绉烽崹鍌滄嫚閺囩偞鍎�			闁稿繐绉烽崹鍌滄嫚閺囩偞鍎�			濞戞挸顦〃婊兾熼埄鍐ㄧ彲濡府鎷�
婵ɑ娼欓崺鍕潩鐎靛憡鏆╃€规悶鍎抽埢鑲╃不閿涘嫭鍊�	闁烩晜绋掑妤€鈽夐敓锟�	闁稿繐绉烽崹鍌滄嫚閺囩偞鍎�			闁稿繐绉烽崹鍌滄嫚閺囩偞鍎�			濞戞挸顦〃婊兾熼埄鍐ㄧ彲濡府鎷�
闂侇偅鐭穱濠囩嵁鐠恒劍鏆╃€规悶鍎抽埢鑲╃不閿涘嫭鍊�	闁哄鍔戠粻锟�	闁稿繐绉烽崹鍌滄嫚閺囩偞鍎�			闁稿繐绉烽崹鍌滄嫚閺囩偞鍎�			濞戞挸顦〃婊兾熼埄鍐ㄧ彲濡府鎷�
闁靛棴鎷�閻犲洤澧介埢鑲┾偓娑崇畳閸拷闁靛棙鍨圭花璺ㄦ媼閼碱剙鐤嗛柛妯煎枍閻滐拷700闁稿骏鎷�/缂佸鎷�,闁绘粣鎷�5闁硅埖眉缁洪箖鏌ㄩ埀锟�350闁稿骏鎷�/缂佸鎷�.濠㈣泛娲╅埀顒€鍟€垫氨鈧絻鍋愯ぐ锟�300闁稿骏鎷�/缂佸鎷�,闁绘粍婢橀崢銈囨嫻绾懐顩烽梺顐嫹 闁靛棴鎷�闂傚棜娉涢悢鈧痪顓涘亾缂佸鐒﹂弳鈧┑鍌涱殜椤︼拷闁靛棙鍨垮ù鍌炲春閾忚鏀ㄧ紒顖濐嚙閸亞鎷犻崜褉鏌�+闁烩晛鐡ㄩ幐杈┾偓闈涙椤旓拷+闁告劕鎳橀崕瀵告導閸曨剚鐏愰柨娑樻湰閳ь剚绻勫ǎ顔锯偓鐢靛帶濞存﹢鏁嶉崼婵嗙樁闂侇収鍠栭崺宀€鈧顔愮槐锟�闁兼澘鍟抽惁顖涚▔瀹ュ牏绠栭柛蹇撶Х閸ㄥ倿鏌屽鍜佸妳1妤犵儑鎷�=5980闁稿骏鎷�/闁稿繈鍔庨～鏍晬閸繃鍎�4缂佸鍩婄槐锟�+闂侇偓鎷�2023妤犵偞娼欓崣蹇曠矓閹寸偞娈岄柡澶涙嫹>>缂佹柨顑呭畵鍡欐嫻椤撴繃瀚� 闁靛棴鎷�闁稿繈鍔庨埢濂告偟椤撶儐娈板渚婃嫹闁靛棙鍨甸幆鍫熺▔婢舵劖锛岄柛蹇ｅ墮閸欙紕鎷犻敓锟�+濞戞挴鍋撻梻鍌樺妺缁楁挻绋夊鎰佸殾濠㈣泛娲╅埀顒€鍟€垫氨鈧絻鍋愯ぐ锟�+闁兼澘鍟伴崑锝囧垝閹规劦鍞归柣婵撴嫹+闁哄懘缂氶崗妯伙紣濡櫣姘�+1V1闁烩晛鐡ㄩ幐閬嶅春閾忚鏀ㄩ柣婵撴嫹+闁兼澘鍟晶鐘虫償閺冨洨妲搁柟鍨涘亾鐎归潻鎷�+闁活亞鍠栭。鐣屾喆閿濆棛鈧粙鎮甸敓锟�+閹煎瓨妫侀惁顖炲箮閳ь剙顔忚瑜帮拷+闁烩晛鐡ㄩ幐杈ㄥ緞瑜忚ぐ顔炬嫚閿燂拷=2600闁稿骏鎷�/闁稿繈鍔庨～锟�>>缂佹柨顑呭畵鍡欐嫻椤撴繃瀚� 闁靛棴鎷�濞戞挴鍋撶紒鐙欏啰绱﹂梺顐ゅТ缁椻偓濞存粍鍨归～鍡樼箙閹屾濡炰緤鎷�闁靛棙鍨堕弳鈧柡澶嬪姉缁ㄨ法鎷嬮敓锟�+闂佹彃绉堕崑锝夊礃閹绘帒鐓�+闁活亞鍠栭。鐣屾喆閿濆棛鈧拷+缂備礁绻愰崥鈧☉鏃傚█椤ｏ拷+濠㈣埖鑹鹃悰鐔告媴閹炬椿鏆幖杈炬嫹+1V1闁烩晛鐡ㄩ幐閬嶅极濞嗗浚鍚�+閹煎瓨妫侀惁顖炲箮閳ь剙顔忛敓锟�+閻庡湱鍋涙慨鐔虹玻娴ｈ櫣澹�+闁绘粍婢樺┃鈧悗鍦仦閹硷拷+闁告劕鎳橀崕瀵告導閸曨剚鐏�+闁哄牆鐗愰埀顒€鍟畵锟�+闁烩晛鐡ㄩ幐杈╃驳閺冨倹鐎�+濞戞搩浜濋埀顑啫顕ч柡浣圭懃椤掔喓鍖栭懡銈囧煚+闁兼澘鍟抽惁顖涚▔瀹ュ牏绠栭柛蹇撶Х閸ㄥ倿鏌屽鍜佸妳2妤犵儑鎷�+闁诡剚绻勫ǎ顔锯偓鐢靛帶濞达拷+闁告艾绉寸粭鈧悹浣藉紦缁犵喖宕ｆ繝鍌涘€辨慨婵勫劚瀹搁亶宕犻弽顒夊敳缂備緤鎷�+闁告ê妫楅崟楣冩儑閻旂⒈鏆柛娆忥攻鑶╅柟椋庡枎瀹擄拷+婵℃鐗呯欢銉ヮ嚕閸濆嫬顕у☉鎾亾闁哄牜鍓熼埀顒婃嫹+2023闁稿繈鍔庨～鏍偓瑙勆戦弻鐔煎极濞嗘劖缍忛柨娑樼墕鐎垫﹢鏌囬鐓庣厒閻庣顔愮槐锟�闁稿繈鍔庨～鏍ㄧ附濡ゅ拋妯€8800闁稿骏鎷�>>缂佹柨顑呭畵鍡欐嫻椤撴繃瀚�